سیستم های پیشرفته متالیزاسیون و اتصال برای برنامه های کاربردی Ulsi در سال 1997
Advanced Metallization and Interconnect Systems for Ulsi Applications in 1997
نویسنده: R. Cheung, J. Klein, K. Tsubouchi, M. Murakami, N. Kobayashi
ناشر: Materials Research Society
سال انتشار: 1999
تعداد صفحات: 697
زبان: English
فرمت: djvu - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 9 مگابایت