CMOS-MEMS: میکرو و نانو سیستم های پیشرفته
CMOS-MEMS: Advanced Micro and Nanosystems
نویسنده: Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata
ناشر: Wiley-VCH
سال انتشار: 2005
تعداد صفحات: 603
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 7 مگابایت