خصوصیات و اندازه شناسی برای فناوری ULSI 2000: کنفرانس بین المللی (مجموعه مقالات کنفرانس AIP)
Characterization and Metrology for ULSI Technology 2000: International Conference (AIP Conference Proceedings)
نویسنده: David G. Seiler, Alain C. Diebold, Thomas J. Shaffner, Robert McDonald, W. Murray Bullis, Patrick J. Smith, Erik M. Secula
ناشر: American Inst. of Physics
سال انتشار: 2001
تعداد صفحات: 205
زبان: English
فرمت: djvu - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 6 مگابایت