پلاناریزه مکانیکی شیمیایی مواد میکروالکترونیکی
Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials
نویسنده: Joseph M. Steigerwald, Shyam P. Murarka, Ronald J. Gutmann
ناشر: J. Wiley
سال انتشار: 1997
تعداد صفحات: 340
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 14 مگابایت