پلاناریزه مکانیکی شیمیایی مواد میکروالکترونیکی
Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials
نویسنده: Joseph M. Steigerwald, Shyam P. Murarka, Ronald J. Gutmann
ناشر: Wiley-VCH
سال انتشار: 1997
تعداد صفحات: 337
زبان: English
فرمت: djvu - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 3 مگابایت