مسطح سازی شیمیایی-مکانیکی مواد نیمه هادی
Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
نویسنده: Michael R. Oliver (auth.), Dr. Michael R. Oliver (eds.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 2004
تعداد صفحات: 431
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 14 مگابایت