پرداخت مکانیکی شیمیایی / مبانی و چالش ها: سمپوزیوم برگزار شد 5-7 آوریل 1999، سانفرانسیسکو، کالیفرنیا، ایالات متحده آمریکا
Chemical Mechanical Polishing /Fundamentals and Challenges: Symposium Held April 5-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A
نویسنده: S. V. Babu, S. Danyluk, M. I. Krishnan, M. Tsujimura
ناشر: Materials Research Society
سال انتشار: 2000
تعداد صفحات: 279
زبان: English
فرمت: djvu - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 3 مگابایت