پرداخت مکانیکی شیمیایی در پردازش سیلیکون
Chemical Mechanical Polishing in Silicon Processing
نویسنده: R.K. Willardson and Eicke R. Weber (Eds.)
ناشر: Academic Press
سال انتشار: 1999
تعداد صفحات: 325
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 14 مگابایت