رسوب بخار شیمیایی: رسوب حرارتی و پلاسما مواد الکترونیکی
Chemical Vapor Deposition: Thermal and Plasma Deposition of Electronic Materials
نویسنده: Srinivasan Sivaram (auth.)
ناشر: Springer US
سال انتشار: 1995
تعداد صفحات: 302
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 7 مگابایت