MEMS مبتنی بر الکتروسرامیک: ساخت فناوری و کاربردها
Electroceramic-Based MEMS:Fabrication-Technology and Applications
نویسنده: N. Setter
ناشر: Springer Science+Business Media, Inc. : Springer e-books, Electronic Materials: Science and Technology, Electronic Materials: Science & Technology, 1, 2005
سال انتشار: 2005
تعداد صفحات: 416
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 6 مگابایت