پردازش الکتروشیمیایی در ساخت اولسی و رسوب فلز نیمه هادی II: مجموعه مقالات سمپوزیوم بین المللی (مجموعه مقالات (انجمن الکتروشیمیایی)، V. 99-9.)
Electrochemical Processing in Ulsi Fabrication & Semiconductor Metal Deposition II: Proceedings of the International Symposium (Proceedings (Electrochemical Society), V. 99-9.)
نویسنده: Panayotis C. Andricacos and others (Editors)
ناشر: Electrochemical Society
سال انتشار: 1999
تعداد صفحات: 411
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 6 مگابایت