فعال کردن فناوری برای MEMS و نانودستگاه ها
Enabling Technology for MEMS and Nanodevices
نویسنده: Baltes, H. (editor);Brand, O. (editor);Fedder, G. K. (editor);Hierold, C. (editor);Korvink, J. G. (editor);Tabata, O. (editor)
ناشر: Wiley-VCH [Imprint] John Wiley & Sons, Incorporated, Advanced Micro and Nanosystems, Advanced Micro and Nanosystems, 1, 2004
سال انتشار: 2004
تعداد صفحات: 435
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 45 مگابایت