توسعه و بهینه سازی مولفه های فرایند برای رسوب گذاری یون در فرآیندهای PVD
Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
نویسنده: Dipl.-Ing. Walter Olbrich (auth.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 1994
تعداد صفحات: 125
زبان: German
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 4 مگابایت