جنبه های اساسی اکسیداسیون سیلیکون
Fundamental Aspects of Silicon Oxidation
نویسنده: Leonard C. Feldman (auth.), Yves J. Chabal (eds.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 2001
تعداد صفحات: 268
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 12 مگابایت