برهمکنش های بنیادی الکترون با گازهای پردازش پلاسما
Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases
نویسنده: Loucas G. Christophorou, James K. Olthoff (auth.)
ناشر: Springer US
سال انتشار: 2004
تعداد صفحات: 790
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 32 مگابایت