اصول مبنای لیتوگرافی نوری: علم میکرو سازه
Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
نویسنده: Chris Mack
ناشر: Wiley-Interscience
سال انتشار: 2008
تعداد صفحات: 455
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 7 مگابایت