راهنمای تکنیک های پیشرفته پردازش پلاسما
Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques
نویسنده: J. W. Coburn (auth.), Dr. Randy J. Shul, Professor Stephen J. Pearton (eds.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 2000
تعداد صفحات: 663
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 22 مگابایت