راهنمای تمیز کردن برای ساخت نیمه هادی - مبانی و کاربردها
Handbook of Cleaning for Semiconductor Manufacturing - Fundamentals and Applications
نویسنده: Reinhardt, Karen A.; Reidy, Richard F.(eds.)
ناشر: Wiley - Scrivener
سال انتشار: 2011
تعداد صفحات: 477
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 31 مگابایت