کتاب راهنمای ریز سنگی، ریزماشین کاری و ریزساخت
Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication
نویسنده: P. Rai-Choudhury
ناشر: SPIE Press
سال انتشار: 1997
تعداد صفحات: 769
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 18 مگابایت