کتابچه راهنمای فناوری پردازش پلاسما: تعاملات بنیادی، اچینگ، رسوب گذاری و سطحی (علوم مواد و فناوری فرآیند)
Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)
نویسنده: Stephen M. Rossnagel, William D. Westwood, Jerome J. Cuomo
ناشر: William Andrew
سال انتشار: 1991
تعداد صفحات: 546 [535]
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 27 مگابایت