راهنمای مواد و فناوریهای MEMS مبتنی بر سیلیکون
Handbook of Silicon Based MEMS Materials & Technologies
نویسنده: Lindroos V., Tilli M., Lehto A., Motooka T.
ناشر: William Andrew
سال انتشار: 2010
تعداد صفحات: 636
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 14 مگابایت