راهنمای مواد و فناوریهای MEMS مبتنی بر سیلیکون (فناوریهای میکرو و نانو)
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Micro and Nano Technologies)
نویسنده: Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto, Teruaki Motooka
ناشر: William Andrew
سال انتشار: 2010
تعداد صفحات: 636
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 17 مگابایت