کتابچه راهنمای مواد و فن آوری های MEMS مبتنی بر سیلیکون ، چاپ دوم
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, Second Edition
نویسنده: Markku Tilli, Teruaki Motooka, Veli-Matti Airaksinen, Sami Franssila, Mervi Paulasto-Krockel, Veikko Lindroos
ناشر: William Andrew Publishing
سال انتشار: 2015
تعداد صفحات: 799
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 106 مگابایت