کتابچه راهنمای فناوری فرآیند لایه نازک 98/1 کندوپاش واکنشی
Handbook of Thin Film Process Technology 98/1 Reactive sputtering
نویسنده: Westwood, William Dickson;D Glocker; S Shah
ناشر: Institute of Physics Publishing;CRC Press
سال انتشار: 1998
تعداد صفحات: 90
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 6 مگابایت