کتابچه میکرولیتوگرافی VLSI - اصول ، فناوری و کاربردها
Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Technology and Applications
نویسنده: Helbert, J.N.(eds.)
ناشر: William Andrew Publishing/Noyes
سال انتشار: 2001
تعداد صفحات: 986
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 12 مگابایت