راهنمای ریز سنگی ولسی. اصول، فناوری و کاربردها
Handbook of Vlsi Microlithography. Principles, Technology and Applications
نویسنده: William B. Glendinning and John N. Helbert (Eds.)
ناشر: William Andrew
سال انتشار: 1991
تعداد صفحات: 659
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 75 مگابایت