کتابچه راهنمای فناوری پردازش پلاسما: مبانی، اچینگ، رسوب گذاری و تعاملات سطحی
Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
نویسنده: Stephen M Rossnagel; J J Cuomo; William D Westwood
ناشر: Noyes Publications
سال انتشار: 1990
تعداد صفحات: 535
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 24 مگابایت