ISO 14644-4: 2001 ، اتاق های تمیز و محیط های کنترل شده مرتبط - قسمت 4: طراحی ، ساخت و راه اندازی
ISO 14644-4:2001, Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 4: Design, construction and start-up
نویسنده: ISO TC 209/WG 4
ناشر: Multiple. Distributed through American National Standards Institute (ANSI)
سال انتشار: 2007
تعداد صفحات: 58
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 509 کیلوبایت