خرید و دانلود نسخه کامل کتاب Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication: From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales

مدل‌سازی یکپارچه صفحه‌نمایش مکانیکی شیمیایی برای ساخت IC زیر میکرون: از مقیاس ذرات تا مقیاس‌های مشخصه، قالب و ویفر

Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication: From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales

نویسنده: Jianfeng Luo, David A. Dornfeld (auth.)

ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg

سال انتشار: 2004

تعداد صفحات: 326

زبان: English

فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها

حجم فایل: 12 مگابایت