یادداشت های سخنرانی در مورد اصول پردازش پلاسما
Lecture Notes on Principles of Plasma Processing
نویسنده: Francis F. Chen, Jane P. Chang
ناشر: Springer
سال انتشار: 2003
تعداد صفحات: 249
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 14 مگابایت