کتابچه راهنمای مواد و فرآیندهای MEMS
MEMS Materials and Processes Handbook
نویسنده: Tina L. Lamers, Beth L. Pruitt (auth.), Reza Ghodssi, Pinyen Lin (eds.)
ناشر: Springer US
سال انتشار: 2011
تعداد صفحات: 1224
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 27 مگابایت