MEMS در فناوری میکروسیستم ها: ساختار، اصول عملیات، تولید و استفاده عملی از مدارهای میکروالکترومکانیکی و سیستم های حسگر
MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
نویسنده: Dr.-Ing. Markus Glück (auth.)
ناشر: Vieweg+Teubner Verlag
سال انتشار: 2005
تعداد صفحات: 204
زبان: German
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 22 مگابایت