ادغام مواد و فرآیند برای MEMS
Materials & Process Integration for MEMS
نویسنده: Paul Muralt, Nicolas Ledermann (auth.), Francis E. H. Tay (eds.)
ناشر: Springer US
سال انتشار: 2002
تعداد صفحات: 302
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 14 مگابایت