ناخالصی های فلزی در ساخت دستگاه های سیلیکونی
Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication
نویسنده: Dr. Klaus Graff (auth.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 2000
تعداد صفحات: 284
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 7 مگابایت