ناخالصیهای فلزی در فناوریهای مبتنی بر سیلیکون و ژرمانیوم: منشأ، مشخصهسازی، کنترل و تأثیر دستگاه
Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies: Origin, Characterization, Control, and Device Impact
نویسنده: Cor Claeys, Eddy Simoen
ناشر: Springer International Publishing
سال انتشار: 2018
تعداد صفحات: 464
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 14 مگابایت