میکرو و نانو ساخت: ابزار و فرآیندهای
Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes
نویسنده: Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 2015
تعداد صفحات: 537
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 22 مگابایت