سیستم های ریز الکترومکانیکی: مواد پیشرفته و روش های ساخت
Microelectromechanical Systems: Advanced Materials and Fabrication Methods
نویسنده: Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems, Commission on Engineering and Technical Systems, National Research Council
ناشر: National Academies Press
سال انتشار: 1997
تعداد صفحات: 75
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 7 مگابایت