کاربردهای میکروالکترونیکی مسطح سازی مکانیکی شیمیایی
Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization
نویسنده: Yuzhuo Li
ناشر: Wiley-Interscience
سال انتشار: 2007
تعداد صفحات: 762
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 11 مگابایت