کاربردهای میکروالکترونیکی مسطح سازی مکانیکی شیمیایی
Microelectronic applications of chemical mechanical planarization
نویسنده: Yuzhuo Li
ناشر: John Wiley
سال انتشار: 2008
تعداد صفحات: 762
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 11 مگابایت