سنسورهای لایه نازک میکروماشین شده برای ادغام مشترک SOI-CMOS
Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration
نویسنده: Jean Laconte, Denis Flandre, Jean-Pierre Raskin
ناشر: Springer
سال انتشار: 2010
تعداد صفحات: 291
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 6 مگابایت