میکرومکانیک و MEMS: مقالات کلاسیک و اصلی به سال 1990
Micromechanics and MEMS: classic and seminal papers to 1990
نویسنده: W. Trimmer, Institute of Electrical and Electronics Engineers
ناشر: IEEE Press
سال انتشار: 1997
تعداد صفحات: 698
زبان: English
فرمت: djvu - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 56 مگابایت