فناوری میکروسیستم ها: مراحل فرآیند، فناوری ها، برنامه ها
Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
نویسنده: Ulrich Hilleringmann (auth.)
ناشر: Vieweg+Teubner Verlag
سال انتشار: 2006
تعداد صفحات: 280
زبان: German
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 10 مگابایت