فناوری میکروسیستم بر روی سیلیکون
Mikrosystemtechnik auf Silizium
نویسنده: Privatdozent Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann (auth.)
ناشر: Vieweg+Teubner Verlag
سال انتشار: 1995
تعداد صفحات: 237
زبان: German
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 9 مگابایت