مدل سازی رسوب بخار شیمیایی فیلمهای تنگستن
Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films
نویسنده: Dr.ir. Chris R. Kleijn, Dr. Christoph Werner (auth.)
ناشر: Birkhäuser Basel
سال انتشار: 1993
تعداد صفحات: 138
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 11 مگابایت