مدل سازی سیستم های میکروساخت
Modelling of Microfabrication Systems
نویسنده: Prof. Raja Nassar, Prof. Weizhong Dai (auth.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 2003
تعداد صفحات: 275
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 5 مگابایت