نانولیتوگرافی: هنر ساخت دستگاه ها و سیستم های نانوالکترونیکی و نانوفوتونیکی
Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
نویسنده: Martin Feldman
ناشر: Woodhead Publishing
سال انتشار: 2014
تعداد صفحات: 600 [597]
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 42 مگابایت