تکنیک های نانولیتوگرافی و الگوسازی در میکروالکترونیک
Nanolithography and Patterning Techniques in Microelectronics
نویسنده: David G. Bucknall
ناشر: Woodhead Pub.; CRC Press
سال انتشار: 2005
تعداد صفحات: 410
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 8 مگابایت