تکنیک های نانولیتوگرافی و الگوسازی در میکروالکترونیک (نشر وودهد در مواد)
Nanolithography and Patterning Techniques in Microelectronics (Woodhead Publishing in Materials)
نویسنده: David G. Bucknall
سال انتشار: 2005
تعداد صفحات: 424
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 19 مگابایت