مهندسی نانوذرات برای برنامه ریزی شیمیایی- مکانیکی: ساخت نانودیس های نسل بعدی
Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization: Fabrication of Next-Generation Nanodevices
نویسنده: Ungyu Paik, Jea-Gun Park
ناشر: CRC Press
سال انتشار: 2009
تعداد صفحات: 196
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 11 مگابایت