طراحی بدنی و سنتز ماسک برای لیتوگرافی خود مونتاژ مستقیم
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
نویسنده: Seongbo Shim, Youngsoo Shin
ناشر: Springer International Publishing
سال انتشار: 2018
تعداد صفحات: XIV, 138 [144]
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 12 مگابایت